To je nekakšna destilacija v okolju visokega vakuuma, za razliko v prosti poti molekularnega gibanja materiala, ki je bila izvedena v procesu destilacije in čiščenja materiala, občutljivega na toploto ali materiala z visokim vreliščem. Destilacija po kratki poti se uporablja predvsem v kemični, farmacevtski, petrokemija, začimbe, plastika, nafta in druga področja.